- 硅 棒
产品描述
采用直拉法拉制的大尺寸高纯度单晶系列产品,主要用于晶圆加工时刻蚀工艺中使用的极关键材料。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅棒形态单晶产品。
产品用途
晶圆刻蚀用初级原材料。
技术参数
直径mm |
型号/晶向 |
纯度 |
电阻率(Ω.cm) |
长度 |
φ200-φ550 |
P/<100>/<111> |
接近11N |
≤0.01 |
客户定制 |
1-4 |
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60-90 |
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客户定制 |